用於半導體拋光的白色剛玉 WA

用於半導體拋光的白色剛玉 WA

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用於半導體拋光的白色剛玉 WA

白剛玉是以優質氧化鋁為原料,在電弧爐中2000℃以上熔化,冷卻而成。呈白色,主晶相為α-Al2O3。

 用於半導體拋光的白色剛玉 WA

 

 

FEPA標準微粉粒徑對照表

尺寸 D3(嗯) D50(一) D94(嗯)
F230 82 53.0±3.0 34
F240 70 44.5±2.0 28
F280 59 36.5±1.5 22
F320 49 29.2±1.5 16.5
F360 40 22.8±1.5 12
F400 32 17.3±1.0 8
F500 25 12.8±1.0 5
F600 19 9.3±1.0 3
F800 14 6.5±1.0 2
F000 10 4.5±0.8 1
F1200 7 3.0±0.5 1
F1500 5 2.0±0.4 0.8
F2000 3.5 1.2±0.3 0.5

JIS標準微粉粒徑對照表

尺寸 D0 D3 D50 D94
240# ≤127 ≤103 57±3.0 ≥40
280# ≤112 ≤87 48±3.0 ≥33
320# ≤98 ≤74 40±2.5 ≥27
360# ≤86 ≤66 35±2.0 ≥23
400# ≤75 ≤58 30±2.0 ≥20
500# ≤63 ≤50 25±2.0 ≥16
600# ≤53 ≤41 20±1.5 ≥13
700# ≤45 ≤37 17±1.5 ≥11
800# ≤38 ≤31 14±1.0 ≥9
1000# ≤32 ≤27 11.5±1.0 ≥7
1200# ≤27 ≤23 9.5±0.8 ≥5.5
1500# ≤23 ≤20 8±0.6 ≥4.5
2000# ≤19 ≤17 6.7±0.6 ≥4.0

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