片狀氧化鋁能否作為藍寶石基體拋光墊的磨料填料?
答:是的。 片狀氧化鋁(片狀α-Al₂O₃)適用於藍寶石基片固定式磨料拋光墊的研磨填料,主要用於粗拋光和中拋光階段。由於藍寶石是單晶α-氧化鋁,片狀氧化鋁與其屬於同一材料體系,因此可以避免異物污染。
優勢
- 在滑動拋光機制中,扁平的六角形片狀顆粒在壓力作用下傾向於平行於藍寶石表面排列。它採用表面接觸式滑動微切削而非鋒利邊緣刮痕的方式進行拋光。與熔融白氧化鋁相比,它能顯著減少深層刮痕和亞表面損傷,進而提高LED外延的良率。
- 硬度與莫氏硬度9相匹配,與藍寶石硬度相當。它能有效去除切割和研磨後的表面下損傷。單獨使用二氧化矽的去除率太低。
- 高純度需求需高純度α相片狀氧化鋁(Al₂O₃ ≥99.9%,低Fe、Na、Si),以防止藍寶石表面受到金屬離子污染,進而影響LED性能。
